Los inclinómetros son instrumentos que miden ángulos respecto al vector de aceleración de la gravedad. Para obtener este resultado se necesita un acelerómetro. Mide la proyección de la aceleración de la gravedad sobre su eje de detección. El sensor puede tener 1, 2 o incluso 3 ejes de detección.

La aplicación de los acelerómetros MEMS (sistemas microelectromecánicos) es bastante reciente (unos 20 años), pero lo suficientemente madura como para haber demostrado su gran fiabilidad. Los MEMS son chips de silicio mecanizados para crear una pieza mecánica en su interior. La electrónica necesaria para leer la señal está dentro del mismo chip.

El principio de funcionamiento es un sistema muelle-masa: una masa (rotor) está anclada con muelles a un bastidor fijo (estator). Cuando se produce una aceleración, el rotor se desplaza respecto al estator cargando o descargando los muelles. Eso es todo: la medición del desplazamiento es proporcional a la aceleración aplicada. El desplazamiento se mide con diferentes tecnologías dentro del chip, pero en su forma más simple está relacionado con una medida de capacitancia.

Sisgeo utiliza acelerómetros MEMS de última generación que aplican varios métodos para compensar la variación de temperatura y reducir el error entre ejes alcanzando una precisión muy elevada.